Maszyna do trawienia wiązką jonów

Maszyna do trawienia wiązką jonów

Trawienie wiązką jonów (IBE) to technika cienkowarstwowa, która wykorzystuje źródło jonów do przeprowadzania procesów usuwania materiału z podłoża. IBE to rodzaj rozpylania wiązką jonów i niezależnie od tego, czy jest stosowany do wstępnego czyszczenia, czy do trawienia wzorzystego, pomaga zapewnić doskonałą przyczepność i precyzyjne tworzenie struktur 3D.

Maszyna ta jest wysoce kolimowanym, precyzyjnym i wysoce niezawodnym rozwiązaniem do fizycznego trawienia w nanoskali.

Obsługuje dokładność szerokości nanodrutu i trawienie wzorów wielu typów o wysokim współczynniku proporcji, bez ograniczeń typu materiału, trawienia o wysokiej kolimacji, dużej szybkości trawienia i dobrej powtarzalności.

Siatki planarne, specjalne siatki wielkopowierzchniowe, elementy dyfrakcyjne DOE, urządzenia MEMS, obwody cienkowarstwowe, zintegrowane urządzenia fotoniczne

• Źródło jonów składnika rdzenia można sterować niezależnie.
• Kompatybilny z IBE i RIBE, z opcjonalnymi trybami pracy.
• Nadaje się do precyzyjnego trawienia różnych materiałów, przy szerokości linii do 20 nm.
• Dobra wydajność procesu i niezawodność produkcji.
• Dolna i boczne ścianki kraty SiO/Si są proste.
• Umożliwia niezależną kontrolę energii wiązki i strumienia jonów.
• Proces odbywa się w środowisku pracy o niskim ciśnieniu.
• Tworzy kontrolowane trawienie anizotropowe.
• Zapewnia środki do trawienia wszystkich znanych materiałów.
• Umożliwia kontrolę profilu pod kątem dzięki zmiennemu kątowi wiązki trawiącej względem powierzchni próbki/maski.
• Umożliwia kontrolę profilu/ściany bocznej i kształtowanie funkcji.
• Możliwości gazu reaktywnego umożliwiają wyższe szybkości trawienia i wyższą selektywność trawienia różnych materiałów za pomocą reaktywnych gatunków.

Popularne Tagi: maszyna do trawienia wiązką jonów, fabryka w Chinach, producenci maszyn do trawienia wiązką jonów